HSDS系列研磨液供应系统采用客制化、模块化设计，配置灵活，具有实时、高精度在线配比系统，可实现浓度、流量、压力等参数闭环控制，满足半导体制造过程中湿法工艺设备的研磨液等供应需求，操作维护便捷，具有高可靠性、安全性和低维护保养成本，配置灵活等优点。
实时、高精度在线配比系统
各项参数闭环控制
高可靠性、安全性和低维护保养成本
配置灵活
